2012年我国物联网传感器的战略部署分析
日期:2012-03-31 16:30
传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平;
以增加品种、提高质量和经济效益为主要目标，加速产业化，使国产传感器的品种占有率达到70%~80%，高档产品达60%以上。
2012年传感器发展重点
(1)MEMS工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器，汽车专用压力、加速度传感器，环保用微化学传感器等。
(2)集成工艺和多
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