根据调研，截止2023年12月20日，中国内地12英寸、8英寸和6英寸及以下的硅晶圆制造线共有210条（不含纯MEMS生产线、化合物半导体生产线和光电子生产线）。
中国内地共建有12英寸晶圆厂45座，规划产能合计238万片，万片），实际产量约在125-140万片之间；在建24座，规划产能合计125万片（其中外资在建18万片）；规划兴建或改造13座，规划产能合计57万片（其中外资规划5万片）；全部产能合计420万片（其中外资产能77万片）。
中国内地共建有8英寸晶圆厂34座，规划产能合计168万片，已经装机产能152万片（其中外资装机35万片），实际产量约在140万片左右；在建5座，规划产能合计20万片；规划兴建或改造11座，规划产能合计32万片；全部产能合计220万片。
中国内地共建有6英寸晶圆厂48座，规划产能合计264万片，已经装机产能206万片，实际产量约在180万片左右；在建4座，规划产能合计21万片；规划兴建或改造6座，规划产能合计34万片；全部产能合计319万片。
中国内地共建有5/4/3英寸晶圆厂63座，规划产能合计730万片(按4英寸计算)。
目前，中国内地建设12英寸晶圆制造生产线城市的有20个，已经投产的12英寸装机产能分布按城市排名：无锡、北京、武汉、合肥、西安、上海位居前六位。
中国内地建设8英寸晶圆制造生产线城市的有24个，已经投产的12英寸装机产能分布按城市排名：上海、天津、无锡、绍兴、苏州、杭州位居前六位。
本土12英寸晶圆制造装机产能排名前五的公司（不考虑工艺水平，不包括存储产能）：中芯国际、华虹集团、晶合集成、士兰微、粤芯。
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