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欧姆龙开发MEMS绝对压力传感器

   欧姆龙株式会社研发了一款新型“绝对压力传感器”(※1),该传感器能够准确检测出50cm高度范围内的气压变化。绝对压力传感器应用了欧姆龙核心技术之一的MEMS技术,实现了世界顶级水平的高精度和低电流消耗,将于2013年1月开始发售。
   该绝对压力传感器,实现了CMOS回路与MEMS传感器的工艺整合,实现了长3.8mm×宽3.8mm、厚0.92mm的小型封装,更易于应用在移动电话等小型设备中。
   适用于智能手机或运动计量器(※2)等机器的电池驱动部件,有利于延长电池的寿命。将该传感器应用于运动计量器上,可以测算出上下楼梯等存在高度差的运动形式数据,解决一直以来的难题。而应用于汽车导航系统上,可以确保在立体停车场导航的精准度以及识别一般道路和高架路。另外,由于能测定感知房门开启或窗户破碎等情况下产生的气压变化,也可应用于安保领域。
   此外,CMOS MEMS一体化晶片也可销售,旨在满足与其他传感器安装在同一主板上等需求。今后,欧姆龙将凭借独有的MEMS技术持续为社会做贡献。
   本产品将于7月11日(周三)至7月15日(周五)在东京国际展览中心举办的“第23届微机械/MEMS展”上展出。
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