洁净室又称无尘室, 是一种特殊设计和建造的环境。主要目的是在制造、科学研究或其他需要高度洁净和控制的应用中，提供一个极低微粒和污染物水平的空气环境。 例如：在半导体、光电面板的制造过程中，被加工件的导电性能会被环境中的金属离子破坏掉，洁净室可避免这种情况的发生。 洁净室依据洁净程度，可划分为零级、十级、百级、千级、万级乃至十万级、三十万级，其中数值越低，代表洁净室的等级越高。 洁净室的运营条件苛刻且复杂，不仅需将空气中的微粒子、有害气体、有机质等污染物进行排除，更需通过复杂的控制方式将影响[登陆后可查看全文]