1  引言   太阳能作为绿色清洁能源有着广泛的应用前景和发展潜力。目前国内太阳能行业正在蓬勃发展，主要以单晶硅，多晶硅，和非晶硅产品为主。其中非晶硅产品以价格低廉，污染小，制造成本低等优点受到广泛关注。对非晶硅太阳能电池的制造设备的需求也在不断增加。包括等离子体化学气相沉积设备(PECVD)和物理气相沉积设备(PVD)下文称PVD等主要设备。本文提供了用西门子的S7-300和WINCC作为PVD控制系统的方案。   WinCC即Windows Control Center(视窗控制中心)，是一个功能强大的全面开放的上位机监控系统，既可以用于[登陆后可查看全文]