Ezi-Servo是采取光学编码器的反馈,并采用步进电机驱动,使其可以在低速之下拥有高精度,并保有步进的高扭力,更适用于如量测仪器、光学、传输带、机械手臂等刚性较低的机构上。由于拥有步进停下时最大的保持力矩,到位时不抖动,与伺服相较起来亦有快速的稳定性,避免整定晃动的问题。
目前Ezi-Servo已成功使用在TFT八代厂注胶、框胶与点胶等设备中。在取放晶圆的机械手臂应用中(直接驱动,不像一般伺服电机须加装谐和式减速机),大幅节省成本并提高效能,在市场上可取代大部份伺服及步进电机,性价比极高进而
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