B&R PCC 及ACOPOS 伺服在刻蚀线上的应用
日期:2011-09-28 19:17

烘干





撕边




图1 刻蚀生产线工艺过程
刻蚀腔体部分为整个系统的关键，其刻蚀的效果直接影响到产品的合格率。整个刻蚀过程有6 个腔体，每个腔体中有上下两对喷嘴，分别由两台电机控制，电机控制喷嘴来回摆动。因此整个刻蚀部分由12 台电机组成。由于电机不断来回摆动，这里称之为摇摆电机。


1 . 2 摇摆电机运动简介
根据工艺要求电机必须按照一定轨迹运行，而且不同的电机运行轨迹有所区分。由

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