B&R PCC 及ACOPOS 伺服在刻蚀线上的应用
日期:2011-09-28 19:17

1 简介
1 . 1 系统简介
系统为普通糟孔荫罩刻蚀线，主要包括开卷部分、刻蚀腔体部分、第一水洗部分、电解剥离部分、最终水洗部分和最后的烘干及撕边部分。
表面有光致抗刻蚀剂的成卷钢带，在开卷部分被拉开，并送人刻蚀腔体。腔体刻蚀液为FeC13 , 与钢带的无光抗部分反应，形成槽孔。第一水洗的作用为停刻蚀，将荫罩表面的FeC13 均匀地完全去除。剥离部分用于剥离钢带表面的光抗，剥离液为NaOH 。最终水洗除去钢带表面的NaOH 和杂质。烘干部分烘干钢带表面的水分，防止生锈。之后钢带进人撕边机，撕去荫罩四周的废边。刻蚀生成的工艺

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