在法国东南部阿尔卑斯山脚下的格勒诺布尔市(Grenoble)及附近地区,因为该区域内有CEA-LETI研究院、ST微电子研发中心等多家顶级微电子研究机构和多所大学,近年成为了欧洲半导体产业的新科技中心,同时许多新创公司在该地区成立并取得发展,因而被称为欧洲硅谷。位于此间专注于化学机械抛光(CMP)和工业视觉的Alpsitec有限公司不久前喜获中国河北工业大学订单,在该地区中小半导体企业中掀起了一次“中国潮”。
Alpsitec SAS于2001年由德国STEAG电子系统公司的CMP设备业务部通过管理层收购转换而来,公司的联合创始人包括今天仍然担任公司总裁的Marc Peltier先生,以及Fabrice Delebarre先生。Alpsitec专注于半导体制造业中的化学机械抛光设备,以及以服务为中心的工业视觉设备。
高度客户定制化是Alpsitec产品的主要特点。其工业视觉设备主要通过为客户定制识别系统,为客户的自动化系统提供2D和3D的视觉识别。而让Alpsitec名声鹊起的是其专为微电子产业的研究开发活动设计的CMP系统,目前在全球微电子产业已经得到了广泛的应用,并获得了良好的赞誉。
在从德国工业巨头STEAG收购了相关的技术和产品设计之后, Alpsitec在延续了该公司的市场定位,主要针对科学研究的实验室和研究中心以及小规模半导体制造晶圆厂提供世界领先的CMP设备,并且根据客户的需求开发了新的Pcox系列。其CMP产品从用于单晶圆抛光的E460系统,一直到高产能的、可带有多个抛光模组的Pcox 20X系列。
“从研发实验室到大批量的晶圆厂,每种客户对CMP设备的需求都不相同,但是他们却要求我们提供系列化、多样化的CMP设备选择。”Alpsitec总裁Marc Peltier先生对北京华兴万邦管理咨询有限公司的分析师说。“我们的E460系统在全世界广受欢迎,是因为它能够提供研发实验室所需要的小洁净室空间占用、低购入成本和使用成本、对不同晶圆尺寸和不同研磨液的广泛适应性、以及手动和自动皆可的操作环境,同时该机台还能以极高的智能化保证运行的一致性。”
依托这种脱胎于德国工业设备的坚固耐用和品质保证,加上Alpsitec在工业视觉等智能化技术方面的优势,该公司开发了能适合不同类型客户的、成序列的CMP设备,可以满足不同的客户具体要求,如新兴半导体产品的生产企业,或需大批量 CMP 处理的实验机构等。今天诸如各种用于汽车和工业应用的传感器和微机电系统(MEMS)产品,许多都是批量远小于消费电子用芯片的特别定制产品, 需要能够简单而迅捷地运行、能够根据不同工艺灵活变换设置的半导体设备来进行生产。
“正是因为这种系列化的、高一致性的设计还创造了Alpsitec的新优势:能够很容易地从一种型号的设备升级到另外一种型号。”Peltier先生补充道。“CEA-LETI是全球知名的MEMS和传感器研发机构,他们经过生产验证的技术被飞思卡尔半导体、ST微电子和诺基亚等等公司采用,而该机构先后购买了七套Alpsitec的机台。”
所以,Alpsitec的CMP设备吸引了很多优质客户,包括在微电子等领域内以创新、专利和培训而全球著名的CEA-LETI和欧洲微电子中心(IMEC),以及三星电子、IBM、ST微电子和Fairchild等全球领先的半导体公司,以及许多欧洲一流大学的半导体技术实验室。在北京先特科技等分销商支持下,不久前来自中国河北工业大学的一纸订单让Alpsitec看到了新的市场机会。
“河北工业大学购买E460系统是Alpsitec近期发展中最重要的事件之一,由于我公司和该系统独特的市场定位,这标志着中国在微电子产业研发领域正在投入更多的资源。”Peltier先生总结道。“无论是跨国公司在中国建立研发中心,还是本地的大学、科研机构和厂商都在推动中国半导体产业研发能力的快速提升,为此Alpsitec和我们的合作伙伴们、乃至此间业内的许多厂商都深受鼓舞,大家都期待着更多来自中国的合作机会。”
格勒诺布尔市是法国著名科研和教育中心,设有国家级乃至世界级著名科研机构,尤其在核能、航空航天、机械制造、工业自动化、光纤通讯、摇控摇感和环保科技等方面享有盛誉,也为该区域内企业整合不同的创新资源提供了支持。从巴黎搭火车 TGV 到该市约需3小时,从里昂前往约需 1.5 小时。
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