2011年7月12日 - Heason Technology为其FB系列紧凑型纳米级定位装置增加了一个Z-wedge垂直平台。垂直平台补充了一个模块化、紧凑型的系列线性、旋转和测角平台,提供在全6自由度上的多轴和纳米量级移位。
FBZ075-10具有典型的上部和下部楔形设计,采用精密级交叉滚子轴承布局,保持良好的平台刚度,一台侧面安装的陶瓷电机通过陶瓷带驱动底部的楔块。一个可选解析度为5-100纳米的线性编码器被直接安装在垂直移位原件上,以消除潜在的楔角误差。可以容易的从各个面完全接触移动顶板,测量范围75mm x 75mm,最大高度为48mm。紧凑的FBZ平台的垂直行程为10mm,承载能力为2kg。
FB系列采用Nanomotion的HR系列强力陶瓷电机,提供很宽的动态速度范围,从每秒几微米到高达每秒250mm - 具有非常高的加速度特性。该技术以要求超高精度的应用为目标,如半导体、生物医药和光电机械系统,因而没有内在的磁场或移动部件,非常适合于超洁净真空环境。 陶瓷电机技术本质上具有内置的制动和保持能力,对于即需要快速建立时间也需要最佳位置稳定的高刚度运动控制来说是一个很好的选择。
共0条 [查看全部] 网友评论